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武漢云嶺光電取得諧振腔半導(dǎo)體激光器以及諧振腔的制備方法專利提高了出光功率

2024-09-18

  金融界2024年9月17日消息,天眼查知識(shí)產(chǎn)權(quán)信息顯示,武漢云嶺光電股份有限公司取得一項(xiàng)名為“諧振腔、星空體育登錄半導(dǎo)體激光器以及諧振腔的制備方法“,授權(quán)公告號(hào)CN117712825B,申請(qǐng)日期為2023年11月。

  專利摘要顯示,本發(fā)明涉及一種諧振腔的制備方法,包括步驟:S1,選擇未經(jīng)刻蝕的有源層,將其劃分為第一區(qū)域和第二區(qū)域,第二區(qū)域遠(yuǎn)離第一區(qū)域的一端為出光端,S2,對(duì)第一區(qū)域進(jìn)行下沉刻蝕,并對(duì)第二區(qū)域進(jìn)行形貌刻蝕,得到具有若干凸出部的第一階段的諧振腔,S3,在第一階段的諧振腔上掩埋外延生長(zhǎng)有源層材料,加厚有源層,S4,生長(zhǎng)完畢后,再次對(duì)第二區(qū)域進(jìn)行形貌刻蝕,得到具有若干凸出部的第二階段的諧振腔,星空體育登錄第二階段的諧振腔的各凸出部的尖端的連線和第二階段的諧振腔的各凸出部的尖端的連線平行。還提供一種諧振腔和一種半導(dǎo)體激光器芯片。本發(fā)明可在不增加物理尺寸的基礎(chǔ)上,增加有效諧振長(zhǎng)度,提高了出光功率,降低了經(jīng)外部反射回來(lái)的光的影響。

武漢云嶺光電取得諧振腔半導(dǎo)體激光器以及諧振腔的制備方法專利提高了出光功率(圖1)